A medida que las obleas de 300 mm se convierten en el estándar de la industria de semiconductores, el Park FX300 está diseñado para quienes buscan un análisis de alta precisión sin la complejidad de un sistema en línea completamente automatizado. También sirve como una solución ideal para las empresas que están considerando la implementación de AFM antes de realizar la transición a la fabricación en línea.
Optimizado tanto para aplicaciones industriales como de investigación, se espera que el Park FX300 sea un elemento innovador, ofreciendo capacidades avanzadas para el análisis y el control de calidad en una amplia gama de técnicas de AFM. Está equipado con características especializadas, como una platina deslizante para mediciones de planitud de largo alcance de almohadillas de cobre en el posprocesamiento de semiconductores, una platina de rotación para la alineación precisa de la muestra en el empaquetado a nivel de oblea y un sistema de óptica fuera de eje para una mejor visualización de la muestra. Además, su unidad de filtro de ventilador (FFU) garantiza un entorno controlado y libre de contaminación, lo que lo hace ideal para aplicaciones de sala limpia.
Park Systems también ha presentado FX200 IR y FX300 IR, ampliando su tecnología AFM al ámbito del análisis químico a nanoescala. Al integrar la espectroscopia infrarroja por transformada de Fourier (FTIR) con AFM, estos modelos utilizan la microscopía de fuerza fotoinducida (PiFM) para permitir la identificación química con una resolución espacial inferior a 5 nm. Este avance permite a los investigadores e ingenieros analizar la composición química de las estructuras a nanoescala sin dañar las superficies de las obleas, lo que abre nuevas posibilidades para la caracterización de materiales en aplicaciones de semiconductores, polímeros y ciencias de la vida.
Diseñados para muestras que van desde tamaños pequeños hasta obleas de 200 mm o 300 mm, los FX200 IR y FX300 IR permiten obtener imágenes espectrales infrarrojas de alta resolución, lo que proporciona información sin precedentes sobre la composición del material y las interacciones moleculares. Con su capacidad para capturar información sobre enlaces químicos a una escala ultrafina, mejora el análisis de defectos de semiconductores, la investigación de polímeros y la caracterización avanzada de materiales con una precisión inigualable.
Basada en la filosofía de Park Systems de maximizar la eficiencia y minimizar la intervención manual, la serie FX Large Sample AFM mejora la usabilidad con reconocimiento e intercambio automatizados de sondas, un sistema de código QR para monitorear el estado de las sondas y alineación láser impulsada por IA para un funcionamiento perfecto. La función StepScan™ aumenta aún más la eficiencia al permitir mediciones secuenciales automatizadas en coordenadas predefinidas, lo que permite a los investigadores analizar la topografía, las propiedades eléctricas, mecánicas y magnéticas con una mínima intervención manual. Especialmente en aplicaciones de infrarrojos, donde la alineación láser suele ser un desafío importante, los sistemas automatizan completamente el proceso, lo que hace que el análisis químico de alta resolución sea más accesible que nunca.
El doctor Sang-Joon Cho, vicepresidente ejecutivo de Park Systems, destacó el compromiso de la empresa con el liderazgo tecnológico: "Al incorporar las décadas de experiencia e innovación de Park Systems en medición de precisión y automatización, hemos optimizado la serie FX Large Sample AFM para el análisis de obleas al más alto nivel tanto para los campos industriales como de investigación. Park FX300 y los sistemas nano-IR están redefiniendo los límites entre las aplicaciones AFM industriales y de investigación, y proporcionan a nuestros clientes el AFM más avanzado disponible, dando forma juntos al futuro de la nanociencia".
Con sus últimas innovaciones, Park Systems continúa consolidando su posición como líder mundial en microscopía de fuerza atómica, brindando soluciones líderes en la industria para las demandas en constante evolución de la investigación en semiconductores y nanociencia.
Acerca de Park Systems Corp. (KOSDAQ: 140860)
Park Systems Corp., pionera y líder en soluciones de nanometrología con la fabricación de microscopios de fuerza atómica (AFM) de la más alta calidad, se ha distinguido aún más de sus competidores de la industria por su compromiso incomparable de cultivar y fomentar relaciones profesionales heredadas con investigadores e ingenieros de todos los campos científicos y en diversas disciplinas, incluidas la ciencia de los materiales, la física, la química, las ciencias biológicas, los semiconductores y el almacenamiento de datos. La misión de la empresa es impulsar innovaciones a escala nanométrica para científicos e ingenieros y promover descubrimientos científicos. Entre los clientes de Park Systems se incluyen las principales empresas de semiconductores y universidades de investigación de todo el mundo. Con sede en Suwon, Corea, y oficinas regionales en América, Europa y Asia, Park Systems cotiza en la Bolsa de Valores de Corea (KOSDAQ). Obtenga más información en www.parksystems.com.
Foto - https://mma.prnewswire.com/media/2622432/FX_Large_Sample_Series_New_Park_Systems_Corp.jpg
Logo - https://mma.prnewswire.com/media/490994/Park_Systems_Logo.jpg
Share this article