Da 300-mm-Wafer zum Standard in der Halbleiterindustrie werden, ist das Park FX300 für diejenigen konzipiert, die eine hochpräzise Analyse ohne die Komplexität eines vollautomatischen Inline-Systems wünschen. Es ist auch eine ideale Lösung für Unternehmen, die eine AFM-Implementierung in Erwägung ziehen, bevor sie zur Inline-Fertigung übergehen.
Optimiert für Industrie- und Forschungsanwendungen, soll das Park FX300 die Möglichkeiten der Analyse und Qualitätskontrolle für eine breite Palette von AFM-Techniken erweitern und damit neue Maßstäbe setzen. Es ist mit speziellen Funktionen ausgestattet, wie z. B. einer Schiebevorrichtung für Flachheitsmessungen über große Entfernungen von Kupferpads in der Halbleiter-Nachbearbeitung, einer Drehvorrichtung für die präzise Ausrichtung von Proben in der Wafer-Level-Verpackung und einem Off-Axis-Optik-System für eine verbesserte Probenvisualisierung. Außerdem sorgt die Fan Filter Unit (FFU) für eine kontrollierte, kontaminationsfreie Umgebung und ist damit ideal für Reinraumanwendungen.
Park Systems hat außerdem das FX200 IR und das FX300 IR eingeführt und damit seine AFM-Technologie auf den Bereich der chemischen Analyse im Nanobereich ausgeweitet. Durch die Integration der Fourier-Transformations-Infrarotspektroskopie (FTIR) mit AFM nutzen diese Modelle die photoinduzierte Kraftmikroskopie (PiFM), um eine chemische Identifizierung mit einer räumlichen Auflösung von weniger als 5 nm zu ermöglichen. Dieser Durchbruch ermöglicht es Forschern und Ingenieuren, die chemische Zusammensetzung von Strukturen im Nanomaßstab zu analysieren, ohne die Waferoberflächen zu beschädigen, und eröffnet neue Möglichkeiten für die Materialcharakterisierung in Halbleiter-, Polymer- und Life-Science-Anwendungen.
Das FX200 IR und das FX300 IR sind für Proben von kleinen Größen bis hin zu 200-mm- oder 300-mm-Wafern ausgelegt und ermöglichen hochauflösende Infrarot-Spektralaufnahmen, die beispiellose Einblicke in die Materialzusammensetzung und molekulare Wechselwirkungen bieten. Mit seiner Fähigkeit, Informationen über chemische Bindungen auf ultrafeiner Ebene zu erfassen, verbessert es die Analyse von Halbleiterdefekten, die Polymerforschung und die Charakterisierung fortschrittlicher Materialien mit unübertroffener Präzision.
Die FX Large Sample AFM-Serie basiert auf der Philosophie von Park Systems, die Effizienz zu maximieren und manuelle Eingriffe zu minimieren. Sie verbessert die Benutzerfreundlichkeit durch automatische Sondenerkennung und -austausch, ein QR-Code-System zur Überwachung des Sondenstatus und eine KI-gesteuerte Laserausrichtung für einen reibungslosen Betrieb. Die StepScan™-Funktion steigert die Effizienz weiter, indem sie automatische sequenzielle Messungen an vordefinierten Koordinaten ermöglicht, sodass Forscher die Topografie sowie elektrische, mechanische und magnetische Eigenschaften mit minimalem manuellem Eingriff analysieren können. Insbesondere bei Infrarot-Anwendungen, bei denen die Laserausrichtung oft eine große Herausforderung darstellt, automatisieren die Systeme den Prozess vollständig und machen hochauflösende chemische Analysen zugänglicher als je zuvor.
Dr. Sang-Joon Cho, Executive Vice President von Park Systems, betonte das Engagement des Unternehmens für technologische Führungspositionen: „Wir haben die FX Large Sample AFM-Serie für die Waferanalyse auf höchstem Niveau für Industrie und Forschung optimiert und dabei das jahrzehntelange Know-how und die Innovationskraft von Park Systems in den Bereichen Präzisionsmessung und Automatisierung eingebracht. Park FX300 und die Nano-IR-Systeme definieren die Grenzen zwischen industriellen und forschungsbezogenen AFM-Anwendungen neu und bieten unseren Kunden das fortschrittlichste AFM auf dem Markt – so gestalten wir gemeinsam die Zukunft der Nanowissenschaften."
Mit seinen neuesten Innovationen festigt Park Systems seine Position als weltweit führendes Unternehmen im Bereich der Rasterkraftmikroskopie und bietet branchenführende Lösungen für die sich ständig weiterentwickelnden Anforderungen der Halbleiter- und Nanowissenschaftsforschung.
Informationen zu Park Systems Corp. (KOSDAQ: 140860)
Als Pionier und Marktführer im Bereich Nanometrologielösungen mit der Herstellung von Rasterkraftmikroskopen (AFM) höchster Qualität hat sich die Park Systems Corp. durch ihr beispielloses Engagement für die Pflege und Förderung bestehender professioneller Beziehungen zu Forschern und Ingenieuren aller wissenschaftlichen Bereiche und über verschiedene Disziplinen hinweg, darunter Materialwissenschaften, Physik, Chemie, Biowissenschaften, Halbleiter und Datenspeicherung, weiter von der Konkurrenz in der Branche abgehoben. Das Unternehmen hat es sich zur Aufgabe gemacht, Innovationen im Nanobereich für Wissenschaftler und Ingenieure voranzutreiben und wissenschaftliche Entdeckungen zu fördern. Zu den Kunden von Park Systems gehören weltweit führende Halbleiterunternehmen und Forschungsuniversitäten. Park Systems hat seinen Hauptsitz in Suwon, Südkorea, und verfügt über regionale Niederlassungen in Amerika, Europa und Asien. Das Unternehmen wird an der koreanischen Börse (KOSDAQ) gehandelt. Weitere Informationen finden Sie unter www.parksystems.com.
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